田中秀治研究室 ~Student Page~

APCOT2018

こんにちは、森山です。
Hallo, this is Moriyama.

私は6月24日から27日まで香港科技大学(HKUST)にて開かれたAPCOT(Asia Pacific)2018に参加し、発表を行いましたので、報告いたします。
本カンファレンスは2年に一度開かれている国際会議であり、今回は15か国157報の報告がありました。
会場の香港科技大学は香港の東側にあり、海岸沿いの見晴らしの良い高台にあります。
I went to HKUST in Hong Kong from 24th to 26th June because of attendee and presentation in APCOT2018.
P_20180626_134711_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180624_173912_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180626_134357_vHDR_Auto_R_R.jpg

各日の初めにはKeynote speechとして、MEMSにおける著名な先生方の講演があり、その後の各セッションでは、中国、日本、韓国、台湾をはじめとした各国の大学の研究者、学生から発表がありました。また、企業の方からの報告も数件ありました。
同時並行で発表が有ったのですべてを聞くことができませんでしたが、マイクロフォン、各種センサ、アクチュエータなど、IoTに関連・融合する報告や、ファブリケーションの報告など、興味深い発表がありました。発表を通じて、日本の発表も多いのですが、それ以上に中国の研究者の発表が多いと感じました。中国の研究活動は活発です。
Every day, the first speaks are Keynote Speech of The Prof. in MEMS.
And then, the researchers were speaking them research such as the microphone, sensor for IoT, actuator, and so on.
The researcher’s countries are 15, the reports are 157 paper in Asia area and so on.
In conference, The Chinese researchers are very aggressive.

私はRF-MEMS(高周波微小電気機械システム)のスイッチ向けのパッケージング法の報告をしてきました。発表題目は、”Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging” です。
海外での発表は小さな研究会での発表をドイツで1度行ったことはあるのですが、今回のAPCOTでの発表が初めての大きな国際会議での発表となりました。
私は英語が不得意であるので(先生方も心配されていましたので)、今回の発表に向けて3回発表練習の機会を設けて頂き、先生方に添削を行って頂きました。発表英文をできる限り暗記し発表できるようにし、香港への移動時にはナレーターソフトと自分の声を録音していたものを聞きながら、発表時間の12分程度に収まる様イメージトレーニングと、現地のホテルで発表練習をしました。
本番では大変緊張しましたが大きな声で発表することを心掛けたこと、事前に発表練習を数回行っていたこともあり、何とか発表を終えることができました。質疑応答では、もう少し要約をして回答できればよかったと悔やまれます。
しかし、今回国際学会で発表することができ、大きな学会での発表の心構えや準備の仕方を知ることができ、大変貴重な体験をさせて頂きました。また、英語での発表能力が必要なことを痛感しました。)
I reported my research for RF-MEMS packaging.
The title is "Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging".
I attended and talked first time in international conference. Therefore, to be good at speaking English, I had to practice.

自分の研究成果を国際学会で研究成果を発表し、多くの方に成果を示し広く知って頂くことで有用なものにしていくことが大切です。
ここに、研究室と職場の皆様に、感謝致します。
It is very important to present my research results at international conferences. Because it is important to know my research to the world widely and to make effective use of it.

所で、Keynote Speechでは150人位聴講者が居たはずですが、私のセッションでは2-30人くらいでした。他のセッションも2-30人位しか居なかったという事で、その他100人ほどの人は何処へ行ったのでしょうか(笑)?昼食時会場には150人位居るんですよね、不思議です。

国際学会では、思いがけない出会いもあります。
知り合いの企業の方や大学の先生方などもそうですが、田中秀治研究室のOGである、「王敏」さんに会いました。会場から出る際に通せんぼしてきた女性がいたのですが、それが彼女でした。会場が暗くて初めは誰かわからなかったのですが、彼女は田中研で博士課程を修了し、設立して間もない中国の南方科技大学の助教となりました。
彼女は90m2のクリーンルームを持っており、スパッタ成膜装置、RIE(ドライエッチング装置)、膜厚測定装置などがあるそうです。露光装置は共用の物を使用するということですが、Siの深掘り装置が大学にはなく、デバイス作りに支障があるそうです。国策で設立された大学ですが、設備投資にはまだまだ時間と予算が必要で、苦労しているそうです。
It is unforeseen meeting in international conference.
I met Dr. Min Wan who is the alumna of Tanaka lab. in APCOT2018.
She is now working for research associate in Southern University of Science and Technology of China.
She has the clean room of 90 m2 which has the sputtering machine, dry etching machine, thickness measurement system, and so on. But it has not the Deep-RIE so she has difficulty doing her fabrication.

27日午後は、HKUSTのNanosystem Fabrication Facility (clean room, (http://www.nff.ust.hk))を見学致しました。
学内のクリーンルームはここだけであり、このクリーンルームは、試作コインランドリと同じように、学内の研究者はもとより学外の企業の方へも装置利用を開放しています。
このクリーンルームでは同じ装置を2台持っており、片方は半導体の様なきれいなデバイス用、もう片方はMEMSなどのプロセス用とし、コンタミを防いでいるそうです。学内では2000人余りの利用者がおり、企業は6社ほどの利用です。
On 27th afternoon, I attended the lab tour of the Nanosystem Fabrication Facility (NFF) in HKUST.
It is only clean room in HKUST.
The NFF is open to many users regardless of internal (2000 researchers) and/or outside(6 companies) such as Hand-on-Access Fab (Shisaku Coin Laundry).
It has the same equipment by two. One is for semiconductor fabrication use, other is for MEMS fabrication use.
P_20180627_144352_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180627_140344_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180627_143147_vHDR_Auto_R_R.jpg


【役立つ情報?】

仙台から香港へは、仙台空港-成田空港-香港空港というルートか、仙台-羽田又は成田空港-香港というルートです。当初はANAで成田空港へ行き、キャセイパシフィックに乗り継ぎという計画をしていました。しかし、事前にANAに確認したところ、成田ではターミナルが違うから1時間半では乗り継ぎできないです、と言われ、急遽、東京に前泊することにしました。その東京への移動途中の19時頃、24日に搭乗予定のCX501便が、機材繰りで5時間ほど遅れると言う連絡が…
キャセイのコールセンターは17時半までだったので、24日の朝一に成田空港へ移動し、キャセイのカウンターが開くと同時に前便のCX509に変更できないか交渉し、CX509の保安検査締切直前に席を確保してもらい、通常の保安検査待ち行列を横目にファストレーンを通してもらい、保安検査の並びから出国審査まで5分で通過しました。早ーい!!
今回はイレギュラーでしたが、乗り継ぎ時間には余裕を見ておかないといけないですね。仙台-成田のキャンセル費は当然自腹です。

香港は沖縄より緯度が低いため、年中暑いです。会社員時代、香港の隣の中国・深圳市にその会社の中国工場があり、何度か深圳に出張で来たことがありますが、その時もいつも暑いと思っていました。外気温は32℃位で湿度70~80%ですが、建物内やホテルの部屋の空調の設定温度が23℃等と低く、ものすごく寒いです。空調の吹き出し口が結露していますね。
P_20180627_103543_vHDR_Auto_R_R.jpg

現地に着いたら、現地の通信バンドに対応しているSIMフリースマートフォンを所持している人は、データSIMカードを香港空港で買いましょう。私は8日間5GBでHK$118(JPY1,700位)を買いました。他に、5日間3GBでHK$80もありました。
SIMフリーでない(キャリアのスマートフォンを使用している)人は、ドコモなどのキャリアの海外パケット契約を事前に日本で行っておきましょう(1日あたりJPY1,000-3,000位です。高いですねー)。または、レンタルWiFiを事前に借りましょう。
余談ですが、ドコモメールを保持しながら通信費を抑えたいなら、SIMフリーでDSDS対応のスマホは良いですよ(FOMA:JPY2000+3GB:JPY1000位)。
その後、香港空港で両替を行い、香港空港からの移動で乗車するAirportExpress、MTR(地下鉄)、バス、お店などで使用できる電子マネー「八達通(Octpus)」をHK$250(デポジットHK$50含む)で買います。香港空港からはAirport Expressで香港駅まで移動し、MTRに2回乗り換え、将軍澳(通しの場合110HDK)まで行きました。

ホテルはHollyday Inn Kowloon Eastで、4星ホテルです。が、4つ星?という感想です。
5月初め予約サイトで残り数部屋となっていたので予約したのですが、一週間後は4泊で1万円位安くなっていました(泣)。

ホテルやマンションがまぁ細くて高い高い。アスペクト比が異常ですね。地震が来たらポッキリ折れそうです。東京湾岸のタワマンは、まだアスペクト比が小さいですね。
P_20180627_152932_vHDR_Auto_R_R.jpg

ホテルは駅と直結で、Ground Floor、1階、2階がショッピングモールになっており、その中に7-11やAEONが入っており、日本の物がお菓子、飲み物、日用品問わずおいてあり、ホッとします。これらの店以外でも、日本(日本語)の物が当然のように売っています。(ショッピングモール内の食事できる場所は多くあったのですが、一人でいる人が全くなく、なんか入りづらかったので仕方なく4泊中3泊の夕食が7-11のパンとつまみ…)
P_20180627_223750_vHDR_Auto_R_R.jpg

25日、26日の昼食は、校内のレストランを貸し切りで中華料理が出されました。
写真を並べますが、量がとにかく多いですね。鶏に絡む料理は、頭が出てきます。ちょっと怖いです。あと、中華なので、骨までぶつ切りですね。
P_20180625_132414_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180626_125655_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180626_125440_vHDR_Auto_R.jpg
↑鶏の頭が・・・・

26日の夕食はバンケットでした。着席タイプで一皿ずつ出てくるので、昼食時とスタイルが違い良かったです。ワインが無くなるとすぐに注がれ、5杯ほど飲んでしまいました。
飲みすぎ、食べすぎ注意です。
P_20180626_195132_vHDR_Auto_R_R.jpg

香港は2階建てバスや2階建て路面電車が有名です。また、ピークトラムといわれるケーブルカーでザ・ピークに登ると、香港を一望できる展望台に着きます。夜景がきれいでした。
P_20180627_150440_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180627_214117_vHDR_Auto_R_R.jpg
P_20180627_201503_vHDR_Auto_R_R.jpg

みなさん、海外発表は大変ですが、その分貴重な経験もできるかと思います。異文化に触れるチャンスでもあります。
是非海外で論文発表できるよう、がんばりましょう!

PageTop

2018WelcomeParty

こんにちは。新B4の奈良,海老原,松本です。花見に引き続き,今回は新メンバー歓迎会の幹事をやらせていただきました。次の日に談話会を控えた海老原でしたが,一生懸命準備を進めてまいりました!

Hello everyone, we're Nara, Ebihara and Matsumoto, B4 students. In this article we will report about recent Welcome Party.

S__90488839_convert_20180521135848.jpg


 今回の歓迎会は,おしゃれなダイニングバーを貸し切りで使用して行いました。
今年は,新3年生の5人を歓迎することとなりました。

We used a stylish dining bar for the Party.
This year, five B3 students come to Tanaka's Lab.


 悪天候の中でしたが,多くの参加者に来ていただきました。

We're happy because many laboratory members joined this party, even though it was raining.

S__90488837_convert_20180521135808.jpg


今年も田中先生の乾杯から始まりました。

The Party started with a toast of Professor Tanaka.

普段交流の少ない方たちともたくさんお話しできた機会になったと思います。
新3年生の方たちには,田中研に新しい風を吹かせてくれることを期待しています!

I think that it was an opportunity to talk a lot with people who usually have little exchange.

S__90488838_convert_20180521135827.jpg


恒例の新メンバーによる自己紹介も行われました。
By newcomers, self-introductions were made.

とても楽しい時間を過ごすことが出来ました!

we had a good time!

S__90488840_convert_20180521135905.jpg


最後に、参加して下さった皆様、協力、アドバイスを下さった方々にこの場を借りて感謝させていただきます。
今回ご都合が合わず参加できなかった方も,次回は一緒に楽しめることを願います!

Finally, I would like to thank the people who gave me cooperation and advice and everyone who participated.

PageTop

お花見 2018

続きを読む

PageTop

MEMS 2018 Conference

By Chenzhong Shao (D3)

The 31st MEMS conference was held in Belfast, Northern Ireland, UK, from January 21st to 25th, 2018. Flying from Sendai to Belfast was not an easy task for me. Due to lack of experience, I booked 3 aircrafts which are from Sendai to Seoul, from Seoul to London and from London to Belfast. Among them, the flight from Seoul to London took 12 hours. Staying in a plane for such a long time made me feel very uncomfortable. Fortunately, in-flight meals were delicious.

No1_MEMS2018
In-flight meal

The place I lived in Belfast was an apartment booked through Airbnb. When I arrived in Belfast at 9am January 21st, the hospitable host came to pick me up, showed me around and let me check in 5 hours before the schedule. After sleeping several hours, I had to get up to go to the conference location for completing my volunteer assignments in the evening to receive the Student Travel Support provided by the Transducer Research Foundation. My assignment was checking badges in Welcome Reception. My partner in the assignment came from the laboratory in which Hayasaka-san is studying, which was such a coincidence. After the assignment, I went back to the apartment immediately, but jet lag made it difficult for me to fall asleep.

No2_MEMS2018.png
Welcome Reception held in Belfast City Hall

In January 22nd, the presentation part of the 31st MEMS conference started. The conference was held in the Belfast Waterfront which was voted the second best conference centre in the world in the Apex Awards in 2002. I spent most of my time in this nice building during the next 3 and half days, and learned a lot, not only the specific knowledge, but also the way how the top researchers in the field make their presentation. This conference greatly broadened my horizons.

No3_MEMS2018_convert_20180210204529.png
Belfast Waterfront (the left bottom and the right pictures are provided by Prof. Yutaka Nonomura)

In this conference, Prof. Shuji Tanaka was announced to be elected to IEEE fellow. Congratulations!

No6_MEMS2018.jpg
Announcement (this picture is provided by Prof. Yutaka Nonomura who has a very nice camera)

On the evening of January 24th, we had a Conference Banquet in the Titanic Belfast. Belfast city is famous for building the RMS Titanic ship. The Titanic Belfast tells the stories of the ill-fated Titanic, which hit an iceberg and sank during her maiden voyage in 1912. However, at that time, I was very sleepy and cannot enjoy the banquet. Such a pity.

No4_MEMS2018_convert_20180210213549.png
Conference Banquet in Titanic Belfast

During the conference, I also walked around near the conference location. Belfast is a very compact city which you can traveled around on foot. The host of my apartment likes this city very much, so do I. This city is perfect for running, and it is really dark before 8am and after 4pm in winter.

After 5 days' stay in Belfast, I had to say goodbye to this beautiful and peaceful city. Joining this conference was a wonderful journey and experience for me. I will come back to this city in a summer.

No5_MEMS2018_convert_20180210215941.png
Belfast city


Report:

MEMS has evolved over three decades meanwhile, starting from the automotive field, via applications in the consumer electronics area and the Internet-of-Things, and most recently into medical and molecular diagnostic applications [1].

In the consumer electronics area, I listened to a presentation in which a new type of switchable liquid shutter was proposed for the security and design of mobile devices [2]. The operation of the shutter is achieved by shifting an opaque liquid (conductive) and a transparent ambient liquid (insulating), based on electrowetting-on-dielectric (EWOD) actuation. In this device, patterned ITO was used as electrodes. They used Parylene-C and Cytop as the insulating layer and the hydrophobic layer, respectively. PMMA spacers were used to form the liquid chamber, and the periphery of the chamber was sealed using UV-curing resin for hermetic packaging. The response time of the liquid shutter is found to be 600 ms and 350 ms for opening and closing the shutter, respectively at 70 Vrms. The operation of the liquid shutter mounted on a smartphone was successfully demonstrated, as a proof of concept.

As for the medical diagnostic application, I listened to a presentation about an innovative integrated microfluidic platform which allows an ultra-rapid detection of mycotoxins [3]. The simultaneous detection of aflatoxin B1 (AFB1), deoxynivalenol (DON) and ochratoxin A (OTA), within their respective regulatory limits is achieved in a single step within 60 s, by combining an array of thin-film photosensors (a-Si:H photodiode) and a disposable microfluidic device. The microfluidic devices were fabricated using standard PDMS mold replication techniques. This platform can potentially be the basis of portable tools allowing routine and cost-effective on-site screening of mycotoxin contamination by non-specialized personnel.

Microdroplet-based systems provide low-cost and high-throughput biological assays or medical diagnosis. The speaker of a presentation demonstrated, for the first time, microdroplet generation, transport and merging inside a synthetic microfluidic paper (SMP) substrate consisting of a three-dimensional porous matrix [4]. The free-standing SMP was fabricated in an Off-Stoichiometry-Thiol-Ene (OSTE) polymer. Slanted and interlocked micropillar structures in SMP were formed in the OSTE by 4-directional lithography by reflecting vertically collimated UV light to angles of 60° using 4 aluminum mirrors. This work introduces a new platform for the microfluidic generation and manipulation of droplets in paper.

Today MEMS innovation happens mainly on the system and product level [1]. In this conference, I found some technology innovation in the consumer electronics area and in the medical diagnostic application which are away from classical silicon MEMS sensors.

Reference:
[1] F. Laermer, MEMS, pp. 237-240, 2018.
[2] J. Lee et al., MEMS, pp. 14-16, 2018.
[3] R. R. G. Soares et al., MEMS, pp. 6-9, 2018.
[4] H. Yasuga et al., MEMS, pp. 269-271, 2018.

PageTop

株式会社リコー応用電子研究所見学会

2017年11月15日(金)に、研究室の希望者で株式会社リコー応用電子研究所へ見学に行きました。
感謝の言葉も兼ねて、当ブログにて当日の内容を報告させていただきます。

リコー応用電子研究所は名取市の北西部に所在しており、東北地方における研究開発拠点となっております。研究所を訪問した前日には、株式会社リコーの三名が東北地方発明表彰にて文部科学大臣賞および実施功績賞を受賞しております。地方発明賞は全国を8ブロックに分け、各地域における優秀な発明の完成や発明の実施化および指導、奨励、育成に貢献された方々を称えるものです。

見学では、はじめに応用電子研究所の説明をしていただきました。応用電子研究所ではその名前からも想像ができるように、オプトエレクトロニクスを主に扱っています。中でもVCSELを主力製品として扱っています。

VCSELとは半導体レーザー素子の一種です。従来の半導体レーザーは半導体基板と共振器が平行に作られており、へき開した側面から光が射出される構造になっており、端面発光型と呼ばれています。しかし、この方法ではアレイ素子化する際に高密度化することができないという欠点がありました。
これに対して、VCSELでは基板面から垂直方向に光を射出することが出来るため、素子の二次元的配置が可能となり、従来と比較して光の高密度化を図ることが可能となります。リコーでは、世界で初めて40本のレーザービームを同時に射出することが可能なVCSELを開発し、高画素密度を可能にしています。
1mm2以下の面積に40の光源を配置したリコーの40チャンネルVCSEL http://jp.ricoh.com/technology/tech/038_vcsel.html
1mm2以下の面積に40の光源を配置したリコーの40チャンネルVCSEL
http://jp.ricoh.com/technology/tech/038_vcsel.html


研究所の説明をしていただいたあとには、工場内の見学をさせていただきました。見学では、実際にVCSELを生産しているクリーンルームと、VCSELを用いた実験を行っている実験室を見学させていただきました。

クリーンルームの見学では、クリーン度を保つための努力を徹底していることに驚きました。東北大学にもいくつかのクリーンルームがありますが、あそこまで徹底している場所はありません。この辺りはさすが大企業のクリーンルームといったところでしょうか。クリーンルーム内は、隅々まで整理整頓がなされており、生産の無駄をなくし効率を上げるための工夫を感じました。
実験室の見学では、VCSELの新たな応用先を研究している実際の現場を案内していただきました。既存のイメージング分野の事業にとどまることなく、医療分野や機械分野などの新規事業にも果敢に挑戦している様子をうかがうことが出来ました。

最後に、田中先生から「スマート社会のためのMEMS」という題目で講演がありました。講演後には、リコーの社員さんたちと活発な議論が交わされました。

企業のクリーンルームや実験室を見学する機会は大変貴重なものだと思います。今回の見学を通して、企業としてのものづくりや研究開発の考え方を窺うことが出来ました。参加した学生たちにとっても良い刺激になったと思います。

最後に、見学会に参加した皆様と集合写真を撮りました。
株式会社リコー 応用電子研究所の皆様、この度は貴重な機会を与えていただき、ありがとうございました。
lico_people.jpg


PageTop