田中秀治研究室 ~Student Page~

金沢村田製作所仙台工場 見学会

D1の金子です。
10月17日に、研究室で金沢村田製作所仙台工場を見学してきました。
金沢村田製作所では、スマートフォンにも搭載されている弾性表面波(SAW)フィルタなどの高周波デバイスを中心に製造しています。SAWフィルタとは、通信時に受信信号から必要な信号だけを取り出す素子で、1台のスマートフォンに複数個搭載されています。村田製作所はSAWフィルタで世界No.1のシェアを誇っています。田中研究室でも、門田先生のグループが高速通信用素子を研究されており、非常になじみの深い技術です。今回の金沢村田製作所仙台工場の見学も、門田先生のご尽力により実現しました。

見学では、はじめに村田製作所の紹介があり、続いてSAWフィルタの製造プロセスの説明がありました。私も修士の時に弾性波共振子デバイスを作製していたので、なじみのあるプロセスでした。研究室では2センチ角のチップ上に、一から自分でデバイスを作製していましたが、SAWフィルタがどのように量産されているのかを見るのはとても興味がありました。

今回の見学では、金沢村田製作所仙台工場のご厚意で前工程プロセス(フォトリソ、蒸着、リフトオフなど)と、後工程プロセス(ダイシング、樹脂封止、検査など)を実際にクリーンルームに入り見せていただきました。ほとんどすべての工程でプロセスが自動化されており、ウェハ(またはデバイス)を装置に導入すればロボットハンドにより次々とプロセスが進んでいきました。検査工程も非常に高速で行われていました。装置の数も多かったですが、さらに装置の稼働率も非常に高い印象を受けました。ウェハロットごとに工程が管理されており、各プロセスの進捗具合が常時モニタリングされていました。

量産工程以外にも興味深いところがいくつかありました。作業中のヒヤリハットの共有は田中研究室でも行っていますが、仙台工場では見つけた人に表彰が送られていました。作業する人全員で問題を見つけていくことができる良いシステムだと感じました。また、従業員によるセミナーも積極的に開催されているようで、ポスターが貼ってありました。世界シェアNo.1の活気を感じました。こうした活動は研究室でも取り入れたいですね。

今回の工場見学では実際のSAWデバイスの量産工程を間近で見学することができ、とても勉強になりました。金沢村田製作所仙台工場の皆様、どうもありがとうございました。


見学会写真

村田製作所の紹介の様子


見学会集合写真

集合写真


金沢村田製作所ホームページ
http://www.murata.co.jp/kanazawamurata/

村田製作所ホームページ
http://www.murata.com/ja-jp

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