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田中秀治研究室 ~Student Page~

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APCOT2018

こんにちは、森山です。
Hallo, this is Moriyama.

私は6月24日から27日まで香港科技大学(HKUST)にて開かれたAPCOT(Asia Pacific)2018に参加し、発表を行いましたので、報告いたします。
本カンファレンスは2年に一度開かれている国際会議であり、今回は15か国157報の報告がありました。
会場の香港科技大学は香港の東側にあり、海岸沿いの見晴らしの良い高台にあります。
I went to HKUST in Hong Kong from 24th to 26th June because of attendee and presentation in APCOT2018.
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各日の初めにはKeynote speechとして、MEMSにおける著名な先生方の講演があり、その後の各セッションでは、中国、日本、韓国、台湾をはじめとした各国の大学の研究者、学生から発表がありました。また、企業の方からの報告も数件ありました。
同時並行で発表が有ったのですべてを聞くことができませんでしたが、マイクロフォン、各種センサ、アクチュエータなど、IoTに関連・融合する報告や、ファブリケーションの報告など、興味深い発表がありました。発表を通じて、日本の発表も多いのですが、それ以上に中国の研究者の発表が多いと感じました。中国の研究活動は活発です。
Every day, the first speaks are Keynote Speech of The Prof. in MEMS.
And then, the researchers were speaking them research such as the microphone, sensor for IoT, actuator, and so on.
The researcher’s countries are 15, the reports are 157 paper in Asia area and so on.
In conference, The Chinese researchers are very aggressive.

私はRF-MEMS(高周波微小電気機械システム)のスイッチ向けのパッケージング法の報告をしてきました。発表題目は、”Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging” です。
海外での発表は小さな研究会での発表をドイツで1度行ったことはあるのですが、今回のAPCOTでの発表が初めての大きな国際会議での発表となりました。
私は英語が不得意であるので(先生方も心配されていましたので)、今回の発表に向けて3回発表練習の機会を設けて頂き、先生方に添削を行って頂きました。発表英文をできる限り暗記し発表できるようにし、香港への移動時にはナレーターソフトと自分の声を録音していたものを聞きながら、発表時間の12分程度に収まる様イメージトレーニングと、現地のホテルで発表練習をしました。
本番では大変緊張しましたが大きな声で発表することを心掛けたこと、事前に発表練習を数回行っていたこともあり、何とか発表を終えることができました。質疑応答では、もう少し要約をして回答できればよかったと悔やまれます。
しかし、今回国際学会で発表することができ、大きな学会での発表の心構えや準備の仕方を知ることができ、大変貴重な体験をさせて頂きました。また、英語での発表能力が必要なことを痛感しました。)
I reported my research for RF-MEMS packaging.
The title is "Isolation Characteristics of In-plane Feedthrough across Au/SiOx Seal Ring for Wafer-level RF MEMS Packaging".
I attended and talked first time in international conference. Therefore, to be good at speaking English, I had to practice.

自分の研究成果を国際学会で研究成果を発表し、多くの方に成果を示し広く知って頂くことで有用なものにしていくことが大切です。
ここに、研究室と職場の皆様に、感謝致します。
It is very important to present my research results at international conferences. Because it is important to know my research to the world widely and to make effective use of it.

所で、Keynote Speechでは150人位聴講者が居たはずですが、私のセッションでは2-30人くらいでした。他のセッションも2-30人位しか居なかったという事で、その他100人ほどの人は何処へ行ったのでしょうか(笑)?昼食時会場には150人位居るんですよね、不思議です。

国際学会では、思いがけない出会いもあります。
知り合いの企業の方や大学の先生方などもそうですが、田中秀治研究室のOGである、「王敏」さんに会いました。会場から出る際に通せんぼしてきた女性がいたのですが、それが彼女でした。会場が暗くて初めは誰かわからなかったのですが、彼女は田中研で博士課程を修了し、設立して間もない中国の南方科技大学の助教となりました。
彼女は90m2のクリーンルームを持っており、スパッタ成膜装置、RIE(ドライエッチング装置)、膜厚測定装置などがあるそうです。露光装置は共用の物を使用するということですが、Siの深掘り装置が大学にはなく、デバイス作りに支障があるそうです。国策で設立された大学ですが、設備投資にはまだまだ時間と予算が必要で、苦労しているそうです。
It is unforeseen meeting in international conference.
I met Dr. Min Wan who is the alumna of Tanaka lab. in APCOT2018.
She is now working for research associate in Southern University of Science and Technology of China.
She has the clean room of 90 m2 which has the sputtering machine, dry etching machine, thickness measurement system, and so on. But it has not the Deep-RIE so she has difficulty doing her fabrication.

27日午後は、HKUSTのNanosystem Fabrication Facility (clean room, (http://www.nff.ust.hk))を見学致しました。
学内のクリーンルームはここだけであり、このクリーンルームは、試作コインランドリと同じように、学内の研究者はもとより学外の企業の方へも装置利用を開放しています。
このクリーンルームでは同じ装置を2台持っており、片方は半導体の様なきれいなデバイス用、もう片方はMEMSなどのプロセス用とし、コンタミを防いでいるそうです。学内では2000人余りの利用者がおり、企業は6社ほどの利用です。
On 27th afternoon, I attended the lab tour of the Nanosystem Fabrication Facility (NFF) in HKUST.
It is only clean room in HKUST.
The NFF is open to many users regardless of internal (2000 researchers) and/or outside(6 companies) such as Hand-on-Access Fab (Shisaku Coin Laundry).
It has the same equipment by two. One is for semiconductor fabrication use, other is for MEMS fabrication use.
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【役立つ情報?】

仙台から香港へは、仙台空港-成田空港-香港空港というルートか、仙台-羽田又は成田空港-香港というルートです。当初はANAで成田空港へ行き、キャセイパシフィックに乗り継ぎという計画をしていました。しかし、事前にANAに確認したところ、成田ではターミナルが違うから1時間半では乗り継ぎできないです、と言われ、急遽、東京に前泊することにしました。その東京への移動途中の19時頃、24日に搭乗予定のCX501便が、機材繰りで5時間ほど遅れると言う連絡が…
キャセイのコールセンターは17時半までだったので、24日の朝一に成田空港へ移動し、キャセイのカウンターが開くと同時に前便のCX509に変更できないか交渉し、CX509の保安検査締切直前に席を確保してもらい、通常の保安検査待ち行列を横目にファストレーンを通してもらい、保安検査の並びから出国審査まで5分で通過しました。早ーい!!
今回はイレギュラーでしたが、乗り継ぎ時間には余裕を見ておかないといけないですね。仙台-成田のキャンセル費は当然自腹です。

香港は沖縄より緯度が低いため、年中暑いです。会社員時代、香港の隣の中国・深圳市にその会社の中国工場があり、何度か深圳に出張で来たことがありますが、その時もいつも暑いと思っていました。外気温は32℃位で湿度70~80%ですが、建物内やホテルの部屋の空調の設定温度が23℃等と低く、ものすごく寒いです。空調の吹き出し口が結露していますね。
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現地に着いたら、現地の通信バンドに対応しているSIMフリースマートフォンを所持している人は、データSIMカードを香港空港で買いましょう。私は8日間5GBでHK$118(JPY1,700位)を買いました。他に、5日間3GBでHK$80もありました。
SIMフリーでない(キャリアのスマートフォンを使用している)人は、ドコモなどのキャリアの海外パケット契約を事前に日本で行っておきましょう(1日あたりJPY1,000-3,000位です。高いですねー)。または、レンタルWiFiを事前に借りましょう。
余談ですが、ドコモメールを保持しながら通信費を抑えたいなら、SIMフリーでDSDS対応のスマホは良いですよ(FOMA:JPY2000+3GB:JPY1000位)。
その後、香港空港で両替を行い、香港空港からの移動で乗車するAirportExpress、MTR(地下鉄)、バス、お店などで使用できる電子マネー「八達通(Octpus)」をHK$250(デポジットHK$50含む)で買います。香港空港からはAirport Expressで香港駅まで移動し、MTRに2回乗り換え、将軍澳(通しの場合110HDK)まで行きました。

ホテルはHollyday Inn Kowloon Eastで、4星ホテルです。が、4つ星?という感想です。
5月初め予約サイトで残り数部屋となっていたので予約したのですが、一週間後は4泊で1万円位安くなっていました(泣)。

ホテルやマンションがまぁ細くて高い高い。アスペクト比が異常ですね。地震が来たらポッキリ折れそうです。東京湾岸のタワマンは、まだアスペクト比が小さいですね。
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ホテルは駅と直結で、Ground Floor、1階、2階がショッピングモールになっており、その中に7-11やAEONが入っており、日本の物がお菓子、飲み物、日用品問わずおいてあり、ホッとします。これらの店以外でも、日本(日本語)の物が当然のように売っています。(ショッピングモール内の食事できる場所は多くあったのですが、一人でいる人が全くなく、なんか入りづらかったので仕方なく4泊中3泊の夕食が7-11のパンとつまみ…)
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25日、26日の昼食は、校内のレストランを貸し切りで中華料理が出されました。
写真を並べますが、量がとにかく多いですね。鶏に絡む料理は、頭が出てきます。ちょっと怖いです。あと、中華なので、骨までぶつ切りですね。
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↑鶏の頭が・・・・

26日の夕食はバンケットでした。着席タイプで一皿ずつ出てくるので、昼食時とスタイルが違い良かったです。ワインが無くなるとすぐに注がれ、5杯ほど飲んでしまいました。
飲みすぎ、食べすぎ注意です。
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香港は2階建てバスや2階建て路面電車が有名です。また、ピークトラムといわれるケーブルカーでザ・ピークに登ると、香港を一望できる展望台に着きます。夜景がきれいでした。
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みなさん、海外発表は大変ですが、その分貴重な経験もできるかと思います。異文化に触れるチャンスでもあります。
是非海外で論文発表できるよう、がんばりましょう!

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